深圳立成科技有限公司
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一、高精密X、Y、θ平台
该平台非常适合需要特别高的动态响应和运动稳定性的场合，能提供超大加速度和运动精度，简单可靠，具有很好的性价比，在同性能平台设计方案中优势非常明显，是对高度有严格限制的高速、高精度平台的通用型实现方式，不仅仅在半导体和太阳能设备中有着广泛的应用，对其它类似设备和应用场合同样适用。
| 项目 | x | y | 0 |
| 平台运动质量(含负载) | 7kg | 4kg | 3kg(未含负载) |
| 最大驱动力 | 672N | 483N | 28N.m |
| 最大速度 | 3.5m/s | 3.5m/s | 600RPM |
| 行程 | 204.8mm | 100mm | 360° |
| 重复定位精度 | +0.05um | 0.05um | ±1.3arcsec |
| 光栅分辨率 | 20nm | 20nm | 20nm |
| 动态响应时间 | 10ms | 10ms | |
| 外形尺寸(xY0) | 420mm*480mm*187.5mm | ||
二、规格索引
| D H B H 系 列 | 重复定位精度 | XY定位精度 | 节拍时间 | UPH |
| DHBH-X8-Y140-Z30-A1 | ±1μm | ±25μm@3σ | 200ms | 18K(单键合头) |
| DHBH-X50-Y180-Z40-A2 |
