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一、规格索引
| 气浮系列 | 定位精度 (μm) | 重复定位精度 (μm) | 最大速度 (mm/s) | 最大加速度 (m/s²) | 直线度 (mm) | 行程 (mm) |
| DGSAFYY-B1-1800-GD1-S | 3 | 1 | 0.1 | 0.5 | 2 | 1800*1800 |
| DGSXYZ-A3-520-320 | 0.5 | 0.1 | 0.12 | 0.3 | 0.4 | 520*320 |
| DHAF450L-1000 | 2 | 1 | 0.5 | 0.5 | 4 | 1000 |
| DHFA250L-50 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.5 | 2 | 50 |


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