深圳立成科技有限公司
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一、规格索引
| 多轴运动平台 | 定位 精度 | 重复定 位精度 | 运动性能及推力指标 | |||
角度调节平台(u/v) DMS75G-15(上轴)/DMS85G-15(下轴) | 旋转定位精度(arc-sec) 3 | 旋转重复定位精度(arc-sec) ±1 | 行程(deg) ±7.5 | |||
直线调节平台(x/y) DMS100L-25 | 定位精度(μm) 1 | 重复定位精度(μm) ±0.2 | 最大速度(m/s) 1 | 最大加速度(m/s²) 10 | 连续推力(N) 20 | 峰值推力(N) 120 |
直线调节平台(Z) DMS85Z-10 | 定位精度(μm) 1 | 重复定位精度(μm) ±0.2 | 最大速度(m/s) 0.5 | 最大加速度(m/s²) 1 | 连续推力(N) 20 | 峰值推力(N) 120 |
